Účinky 3 kovů se stejným plošného odporu v obvodu

[swaroopa]

V rámci projektu jsem prováděl, M1, M2 a M3 mají stejný list resistance.That znamená, že všechny tři kovy mají stejné resistance.Then, kde je otázka M3 s nejmenším odporem a M1 s maximální odolnost? Jaký vliv to bude mít na dodávky? Jedná se o analogový projekt.

 

[A.Anand Srinivasan]

Prosím po vašem obvodu .... Představa, že jste se představují, není jasné ....

 

[swaroopa]

Hodnoty plošného odporu jsou uvedeny v PDK. To má být dodrženy všechny ckts. Já jsem si říkal, protože za normálních okolností je tento trend M3 Wil mají nejmenší odpor ve srovnání s M1.So používáme M3for výkon routings.and M1 pro vnitřní routings.Now, M3and M1 mají stejný list odpor a stejně thickness.Doesn "t, že neznamená, že jsou Havin stejný odpor? Jak Wil tento efekt napájení? Proč se říká, že PDK M3, M2 a M1 mají stejnou tloušťku a odolnost jednom listu?

 

[A.Anand Srinivasan]

Plošného odporu se měří v ohmech / (náměstí vzdálenost), a vztahuje se na dvojrozměrných systémech, kde je tenký film považován za dvojrozměrné subjekt iethickness je velmi nízká, a proto opomíjen. To je ekvivalentní k odporu, jak použitý v trojrozměrném systému. tak, aby tloušťka M1 a M3 nepřichází do obrázku zde .... Je to jen délku a šířku .... Myslím, že musí být rozdíl v těchto dvou veličin ... Zkontrolujte prosím, zda na to ....

 

[swaroopa]

V rámci tohoto projektu jsme se minimální šířka M1 = M2 = M3. Také není délka trasy parametr? Také je odpor M3 <M2, protože list odpor M3 <M2? Mám na mysli obecný proces, dva různé kovy mají stejný list odpor? Pokud oba mají stejný list odpor, a když jsem po Minum šířku kovu zvyklý odpor stejný? Tak jak mohu zavolat jako M1 a M2 jako samostatná jména?

 

[shiv_emf]

se u kontroly thinkness kovových vrstev ???????

 

[A.Anand Srinivasan]

plošného odporu materiálu je dán ρ / t, kde ρ je měrný odpor, a t je tloušťka ... protože si říkají, M3 a M2, nemusí mít stejný odpor jen proto, že mají stejné plošného odporu .... ρ jejich hodnota může být změněna doping a t hodnotu měnit výrobní .....

 

[swaroopa]

Ahoj, asi budu dělat na otázku jasnější ... Jsem pracující na analogovém projektu (jeden poly - 3 kovové) a jsem zapojen do nejvyšší úrovně integrace celého čipu. V současné době jsem se o elektrické sítě na čipu. Jak je vidět na obrázku za předpokladu, MET1, MET2 a MET3 mají stejnou tloušťku, tj. 0.6550um. Hodnoty plošného odporu jsou také stejné, Minimum = 50, Jmenovitý = 60, Maximum = 70 MOhm / náměstí. Od plošného odporu je stejný pro všechny 3 kovy, to znamená, že odpor všech 3 kovů je také stejná na náměstí (za stejné L & W)? A proto všechny 3 kovy jsou stejné? R = R (L / W) Obvykle, když jsme se moc plánovat konkrétní technologie (např. jeden poly - 6 kovových), list odpory pro různé kovy, tj. Metal1 bude nejvíce odporové a Metal6 bude nejméně odporové. Proto používáme Metal5 a Metal6 o moc plánování, tak že tam je rovnoměrné rozložení sil / GND po celém čipu, tj. IR poklesu se snižuje. Proto, 6 kovy jsou různé a nejsou stejné. V mém případě, pokud jsou všechny tři kovy jsou stejné, pak by to změnit s tím, co jsem kovovou použít k vytvoření energetické distribuční sítě?

 

[sekapr]

více než jeden kov může mít stejný list odpor. Záleží na materiálu pro metalizaci. protože signály připojit tranzistory, je přednostní použití nižší kovy pro směrování signálu, takže budete mít minimální počet průchody v signálové cestě.

 

[A.Anand Srinivasan]

Ya ... musí být stejné, pokud se domníváte, že odpor na náměstí, že .... ale moc směrování co slyšet plochy se používá ... Nejsem tak silný v této, ale jen vědět, co je to, co perspektivy .... různých kovů mohou mít stejný list odpor jen pokud je jejich tloušťka se liší a jejich odpor je stejný ... Nemyslím si, že jsou kovy, se stejným odporem, ale možná blízké ....

 

[forkschgrad]

Je to pro mě nová. je to obvykle metal3, který má nejmenší odpor a obvykle největší, protože to je normálně připojen k bloku.