krystal letadla běžně používané ve výrobních deska Křemíková

[allennlowaton]

Dobrý den, kluci ... Prosím, pomozte mi s tím ... Mám problém, pokud jde o jaký typ letadla krystalu (100, 110, 111) je / jsou běžně používané ve výrobě křemíkových destiček .. A prosím, přidat i podporu důvod, proč je být vybrán / přednost. Děkuju mnohokrát.

 

[erikl]

[Quote = allennlowaton] Mám problém, pokud jde o jaký typ letadla krystalu (100, 110, 111) je / jsou běžně používané ve výrobě křemíkových destiček .. A prosím, přidat i podporu důvod, proč je být vybrán / přednost. [/Quote] Standard je 100, cf. link na stránku 1 [/url]. Pokud vím důvodem pro volbu této orientace je proto, že dosahuje nejlepší kompromis mezi min. iontové implantace směrování a min. pod leptání. Další, to letadlo má nejlepší přilnavost na hliník, s. abstraktu [/url].

 

[baenisch]

Kromě směrování a leptání otázek již bylo zmíněno na 100 směr také nejlepší podmínky pro jeho rozhraní. Pokud si dobře pamatuji, že byl největší problém při vývoji n-FET zařízení. Špatném stavu povrchu vede k mnoha "otevře" na rozhraní mezi substrátem a povrchem brány -> spousta elektronů se v pasti -> vysoká VT. Možná to je v dnešní době používá pro některé speciální zařízení ... S pozdravem Andi

 

[dick_freebird]

Věřím, že jsme použili 111 pro některé procesy dielektrické izolované bipolární, protože to dalo nejlépe vana-etch chování.

 

[snafflekid]

Vzpomínám si, že používá pro zpracování DI bipolární, vytváří ve tvaru drážek. 100 je všechno, co jsem kdy viděl teď

 

[allennlowaton]

Mnohokrát děkuji za informace sdíleny kluci. To byla velká pomoc.